Fotolitografia este un proces folosit în microfabricare pentru a transfera modele geometrice pe un film sau pe un substrat. Formele geometrice și modelele de pe un semiconductor alcătuiesc structurile complexe care permit dopanților, proprietăților electrice și firelor să completeze un circuit și să îndeplinească un scop tehnologic.
Ce este procesul de fotolitografie?
Fotolitografia, numită și litografie optică sau litografie UV, este un proces utilizat în microfabricare pentru modelarea pieselor pe o peliculă subțire sau pe cea mai mare parte a unui substrat (numit și napolitană). … În circuitele integrate complexe, o placă CMOS poate trece prin ciclul fotolitografic de până la 50 de ori.
Care sunt procesele de microfabricare?
Microfabricarea este procesul de fabricare a structurilor miniaturale de scale micrometrice și mai mici. … Conceptele și principiile majore ale microfabricației sunt microlitografia, dopajul, peliculele subțiri, gravarea, lipirea și lustruirea.
Ce este procesul de litografie în semiconductori?
Un sistem de litografie cu semiconductor efectuează un proces prin care modelele de circuite extrem de complexe desenate pe o fotomască realizată dintr-o placă mare de sticlă sunt reduse folosind lentile de ultra-în altă performanță și expuse pe un substrat de siliciu cunoscut sub numele deo napolitană. …
Ce este litografia în procesul de fabricație?
Litografia esteprocesul de transfer de modele de forme geometrice într-o mască pe un strat subțire de material sensibil la radiații (numit rezistență) care acoperă suprafața unei plăci semiconductoare. Figura 5.1 ilustrează schematic procesul litografic folosit în fabricarea IC.
