Fotolitografia este folosită în mod obișnuit pentru a produce cipuri de computer. Când se produc cipuri de computer, materialul substratului este o placă de siliciu acoperită cu rezistență. Acest proces permite ca sute de cipuri să fie construite simultan pe o singură placă de siliciu.
Cum se face fotolitografia?
Fotolitografia folosește trei pași de bază ai procesului pentru a transfera un model de la o mască pe o napolitană: acoperiți, dezvoltați, expuneți. Modelul este transferat în stratul de suprafață al plachetei în timpul unui proces ulterior. În unele cazuri, modelul de rezistență poate fi folosit și pentru a defini modelul pentru o peliculă subțire depusă.
De ce se numește fotolitografie?
Litografia semiconductoare (fotolitografie) - Procesul de bază . Fabricarea unui circuit integrat (IC) necesită o varietate de procese fizice și chimice efectuate pe un substrat semiconductor (de exemplu, siliciu). … Cuvântul litografie provine din grecescul lithos, care înseamnă pietre, și graphia, care înseamnă a scrie.
De ce este importantă litografia?
Litografia este procesul de transfer de modele de forme geometrice într-o mască pe un strat subțire de material sensibil la radiații (numit rezistență) care acoperă suprafața unei plăci semiconductoare. Figura 5.1 ilustrează schematic procesul litografic folosit în fabricarea IC.
Care este cea mai utilizată metodă în metodele litografice?
Opticlitografie este o tehnică bazată pe fotoni care constă în proiectarea unei imagini într-o emulsie fotosensibilă (fotorezist) acoperită pe un substrat, cum ar fi o placă de siliciu. Este cel mai utilizat proces de litografie în producția de volum mare de nano-electronice de către industria semiconductoarelor.
